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西格玛光机1nm反馈平台
品牌：西格玛光机
产地：日本
产品简介：FS-UPX是1nm分辨率定位的反馈级。fss - upx系列比高扭矩型fss - spx系列运行速度更快。内部光学线性编码器内置在平台中心，以检测位置。
产品介绍：
利用编码器的位置信息，通过反馈控制实现对目标位置的定位、定位的重复性和高分辨率的位置保持。
工作台有20mm和50mm两种行程。
规格 | |||
零件编号 | fs-1020upx | fs-1050upx | |
JP价格[¥] | 700,000 | 800,000 | |
机械规格 | 行程[mm] | 20 | 50 |
平台尺寸[mm] | 60×60 | 120×120 | |
进料螺杆[mm] | 滚珠丝杠直径。 6，1毫米铅 | ||
定位滑梯 | 十字滚轮 | ||
主要材料 | 铝 | ||
表面 | 黑色阳极氧化 | ||
电机类型 | □28mm5相步进电机 | ||
重量[公斤] | 0.7 | 1.6 | |
精确规格 | 最小分辨率[nm]1 | 1 | 1 |
位置重复性[nm]1 | +/- 2 | +/- 2 | |
承重[N] | 49(5kgf) | 98(10kgf) | |
运行并行性[μm] | 10 | 10 | |
最大速度[毫米/秒] | 5 | 5 | |
传感器 | 极限传感器 | 有 | |
原产地传感器 | 无 | ||
接近原点传感器 | 无 | ||
配件 | 信号循环 | 2μm | |
刻度电缆（2） | 2米 | ||
外形图
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